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Characteristics of high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) deposited nanocomposite-TiAlSiN coating under variable pulse frequencies
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)沉积纳米复合TiAlSiN涂层的变脉冲频率特性
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
涂层
材料科学
纳米复合材料
溅射沉积
腔磁控管
复合材料
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物理
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期刊:Vacuum 作者:Chayan Ranjan Das; Mufaddal Rangwala; Amitava Ghosh 出版日期:2024-01-01 |
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