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[高分]
  Development of multi-stage optical variable attenuator system and its control method for wafer inspection system 用于圆片检测系统的多级光学可变衰减器系统及其控制方法的开发
相关领域
衰减器（电子）
薄脆饼
光学
材料科学
光衰减器
激光器
光电子学
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工程类
光纤
衰减
物理
光纤传感器
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期刊：IEICE Electronics Express 作者：Tadamichi Nagashima; Hiroyoshi Kanai 出版日期：2023-09-10 |
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