标题 |
Effect of electron energy distributions on the electron density in nitrogen inductively coupled plasmas
氮电感耦合等离子体中电子能量分布对电子密度的影响
相关领域
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核物理学
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需要出版社正式出版的文章
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其它 |
期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Kwan‐Yong Kim; Jung‐Hyung Kim; Chin-Wook Chung; Hyo‐Chang Lee 出版日期:2022-10-01 |
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