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Mechanism and morphology control of underwater femtosecond laser microgrooving of silicon carbide ceramics
飞秒激光水下微刻槽碳化硅陶瓷的机理及形貌控制
相关领域
材料科学
飞秒
激光器
碳化硅
机械加工
可加工性
光学
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陶瓷
激光加工
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微电子
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物理
计算机科学
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期刊:Optics Express 作者:Qingzhen Zheng; Zhengjie Fan; Gedong Jiang; Aifei Pan; Zhaoxuan Yan; et al 出版日期:2019-09-16 |
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