标题 |
Study on nanosecond laser-induced iron plasma reactive etching of single-crystal CVD diamond
纳秒激光诱导铁等离子体反应刻蚀单晶CVD金刚石的研究
相关领域
材料科学
单晶
反应离子刻蚀
等离子体
蚀刻(微加工)
钻石
纳秒
激光器
光电子学
纳米技术
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物理
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其它 |
期刊:Optics & laser technology/Optics and Laser Technology 作者:Qiuling Wen; Hongyuan Wu; Xipeng Xu; Jing Lu; Hui Huang; et al 出版日期:2024-10-01 |
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