A highly dense MEMS optical switch array integrated with planar lightwave circuit

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标题	A highly dense MEMS optical switch array integrated with planar lightwave circuit
网址	https://doi.org/10.1109/MEMSYS.2002.984333
DOI	10.1109/MEMSYS.2002.984333 doi
其它	期刊：Technical Digest. MEMS 2002 IEEE International Conference. Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.02CH37266) 作者：T. Kanie; M. Katayama; M. Shiozaki; T. Komiya; K. Saitoh; M. Nishimura 出版日期：2002
求助人	Jason-1024 在 2026-06-15 13:30:37 发布自北京，悬赏 10 积分
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