Polyethyleneimine polymer as an effective corrosion inhibitor for advanced node tungsten post-CMP cleaning

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标题	Polyethyleneimine polymer as an effective corrosion inhibitor for advanced node tungsten post-CMP cleaning
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.164670
DOI	10.1016/j.apsusc.2025.164670 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Ranjith Punathil Meethal; Sumit Kumar; Maheepal Yadav; Palwasha Jalalzai; Andreas Klipp; et al 出版日期：2025-09-22
求助人	smy 在 2026-07-11 18:19:03 发布自江苏，悬赏 10 积分
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