Fast simulation of directed self-assembly for contact hole multiplication with an optimized compact model

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标题	Fast simulation of directed self-assembly for contact hole multiplication with an optimized compact model
网址	https://doi.org/10.1117/12.3093234
DOI	10.1117/12.3093234 doi
其它	期刊：Ninth International Workshop on Advanced Patterning Solutions (IWAPS 2025) 作者：Caiwei Shang; Jiacheng Luo; Weixuan Zeng; Yan Zhang; Shisheng Xiong 出版日期：2025-12-04
求助人	Hannahcx 在 2026-08-24 18:51:09 发布自上海，悬赏 20 积分
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