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标题
Thickness dependent optical properties of amorphous/polycrystalline Ga2O3 thin films grown by plasma-enhanced atomic layer deposition
等离子体增强原子层沉积非晶/多晶Ga2O3薄膜的光学特性
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网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139655
DOI
10.1016/j.tsf.2022.139655 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Weiming Liu; Junbo He; Xudan Zhu; Tiantian Huang; Xin Chen; et al
出版日期：2023-02-01
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