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标题
Toward decoupling the effects of kinetic and potential ion energies: Ion flux dependent structural properties of thin (V,Al)N films deposited by pulsed filtered cathodic arc
相关领域
动能 离子 薄膜 原子物理学 真空电弧 等离子体 解耦（概率） 偏压 材料科学 化学 阴极 电压 纳米技术 物理 工程类 量子力学 物理化学 控制工程 有机化学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0002927
AI链接 escholarship.orgdoi.org
DOI
10.1116/6.0002927 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Yeliz Unutulmazsoy; Dmitry Kalanov; Kyung Hwan Oh; Soheil Karimi Aghda; Jürgen W. Gerlach; et al
出版日期：2023-10-02
求助人
MNYYQA 在 2026-01-12 13:52:05 发布自河南，悬赏 10 积分
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