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 MEMS-based microheaters integrated gas sensors 基于MEMS的微加热器集成气体传感器
相关领域
微型加热器
材料科学
微电子机械系统
表面微加工
电压
功率消耗
光电子学
体微机械加工
加热元件
甲烷
热的
功率（物理）
制作
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期刊：Integrated ferroelectrics 作者：Avneet Singh; Anjali Sharma; Nidhi Dhull; Anil Arora; Monika Tomar; et al 出版日期：2018-10-13 |
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