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标题
Effects of High-Temperature Treatments in Inert Atmosphere on 4H-SiC Substrates and Epitaxial Layers
惰性气氛中高温处理对4H-SiC衬底和外延层的影响
相关领域
惰性气体 惰性 大气(单位) 材料科学 外延 化学工程 复合材料 化学 图层(电子) 有机化学 气象学 物理 工程类
网址
DOI
10.3390/ma17235761 doi
其它 期刊:Materials
作者:F. Migliore; M. Cannas; F. M. Gelardi; F. Pasquali; Andrea Brischetto; et al
出版日期:2024-11-25
求助人
情怀 在 2025-12-06 15:55:40 发布自河北,悬赏 10 积分
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