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Effects of High-Temperature Treatments in Inert Atmosphere on 4H-SiC Substrates and Epitaxial Layers 惰性气氛中高温处理对4H-SiC衬底和外延层的影响
相关领域
惰性气体
惰性
大气(单位)
材料科学
外延
化学工程
复合材料
化学
图层(电子)
有机化学
气象学
物理
工程类
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期刊:Materials 作者:F. Migliore; M. Cannas; F. M. Gelardi; F. Pasquali; Andrea Brischetto; et al 出版日期:2024-11-25 |
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