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  Development of MEMS Process Compatible (Bi,Sb)2(Se,Te)3-Based Thin Films for Scalable Fabrication of Planar Micro-Thermoelectric Generators 相关领域
材料科学
薄膜
制作
微电子机械系统
热电效应
热电发电机
碲化铋
光电子学
热电材料
退火（玻璃）
纳米技术
热导率
复合材料
医学
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物理
病理
替代医学
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期刊：Micromachines 作者：Prithu Bhatnagar; Daryoosh Vashaee 出版日期：2022-09-02 |
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