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标题
Electromigration Behavior of Cu/SiCN to Cu/SiCN Hybrid Bonds for 3D Integrated Circuits
网址
https://doi.org/10.7567/ssdm.2018.g-1-04
DOI
10.7567/ssdm.2018.g-1-04 doi
其它 期刊：Extended Abstracts of the 2018 International Conference on Solid State Devices and Materials
作者：J.De Messemaeker; S.-W. Kim; M. Stucchi; G. Beyer; E. Beyne; et al
出版日期：2018-07-19
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桃桃 在 2026-09-21 16:27:35 发布自中国，悬赏 20 积分
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