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标题
AcArm: A Novel Semiconductor Wafer Handling Robot
AcArm：一种新型半导体晶圆搬运机器人
相关领域
机器人 半导体器件制造 机器人末端执行器 弹道 计算机科学 薄脆饼 过程（计算） 机器人控制 领域（数学） 移动机器人 控制工程 物料搬运 模拟 工程类 人工智能 制造工程 电气工程 数学 天文 操作系统 物理 纯数学
网址
https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/10219280
DOI
10.1109/CSTIC58779.2023.10219280 doi
求助人
修缘 在 2025-05-27 23:50:12 发布自广东，悬赏 10 积分
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