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The Influence of Depo sition Parameters on Ti B2Thin Films Prepared by DC Magne tron Sputtering
沉积参数对直流磁控溅射制备Ti B2薄膜的影响
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其它 Grancic B，Mikula M，Hruba L，et al．The Influence of Depo sition Parameters on Ti B2Thin Films Prepared by DC Magne tron Sputtering［J］．Vacuum，2005，80(1－3):174－177
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