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标题
Defect passivation and interface smoothing by N2O plasma for enhanced mobility and stability in vertical channel oxide TFTs
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.mssp.2026.110906
DOI
10.1016/j.mssp.2026.110906 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Wei Sun; Cong Peng; Fa-Hsyang Chen; Guowen Yan; Lin Xu; et al
出版日期：2026-11-01
求助人
鸡吃米 在 2026-10-23 17:36:40 发布自四川，悬赏 10 积分
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    鸡吃米 鸡吃米 Lv2 求助人 发起了本次求助

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