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Phase-resolved determination of SiC epitaxial layer thickness from FTIR reflectance interference spectra
相关领域
材料科学 外延 干扰（通信） 图层（电子） 反射率 谱线 光电子学 傅里叶变换红外光谱 光学 分析化学（期刊） 傅里叶变换 红外光谱学
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.microrel.2026.116263
DOI
10.1016/j.microrel.2026.116263 doi
其它 期刊：Microelectronics Reliability
作者：Ziqi Li; Jingwen Li; Hongxin Yang; Junjie Zhao; Kai Niu
出版日期：2026-10-01
求助人
Sonder 在 2026-11-14 20:57:30 发布自广东，悬赏 10 积分
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  • 1小时前

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