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A 32.5μg/√Hz, 0.64mm 2 /Axis MEMS Accelerometer Using High-Voltage Pulse Excitation and Active Noise Cancelation Readout Technique 相关领域
加速度计
微电子机械系统
噪音(视频)
主动噪声控制
材料科学
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电子工程
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电容器
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期刊:IEEE Transactions on Circuits and Systems I Regular Papers 作者:Longjie Zhong; Ling Wang; Yi Zhu; Wenfei Cao; Pengpeng Shang; et al 出版日期:2025-11-26 |
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