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 On the effect of self-sustained periodic flows on film thickness non-uniformity during CVD 自维持周期流动对CVD膜厚不均匀性的影响
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期刊：Computers & Chemical Engineering 作者：Michail E. Kavousanakis; Nikolaos Cheimarios; George Kokkoris; Andreas G. Boudouvis 出版日期：2022-03-18 |
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