Enhanced etch characteristics of EUV PR masked SiON through the ion beam grid pulsing technique

待确认

文献求助详情

标题	Enhanced etch characteristics of EUV PR masked SiON through the ion beam grid pulsing technique 离子束栅脉冲技术增强EUV PR掩模SiON的刻蚀特性
网址	https://www.nature.com/articles/s41598-025-04632-x.pdf
DOI	10.1038/s41598-025-04632-x doi
其它	期刊：Scientific Reports 作者：Hae In Kwon; Yun Jong Jang; Kyoung Chan Kim; Hong Seong Gil; Ju Young Kim; et al 出版日期：2025-06-06
求助人	牛马一生在 2025-06-17 08:39:40 发布自北京，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

求助 / 应助时间线

请等待求助人确认

已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。
1天前

pluto Lv121086 上传了文件

待审核 s41598-025-04632-x.pdf (2.3 MB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
1天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

08:39:44 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

08:39:40 科研通AI机器人（日本东京）收到请求，开始寻找文献

08:39:40 已向机器人发送请求
1天前

牛马一生 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: dddd上传了应助文件

1秒前; 眯眯眼的衬衫上传了应助文件

1秒前; 双木完成签到，获得积分10

2秒前; 高高浩然完成签到，获得积分10

2秒前; 牵墨完成签到，获得积分10

2秒前; Alex完成签到，获得积分10

3秒前; 科目三上传了应助文件

3秒前; 追寻梦松完成签到，获得积分10

3秒前; 共享精神上传了应助文件

3秒前; Akim上传了应助文件

4秒前; 昌昌完成签到，获得积分10

6秒前; 缥缈的平露完成签到，获得积分10

6秒前; 领导范儿的应助被鲁滨逊采纳，获得10

6秒前; 有的没的完成签到，获得积分20

7秒前; ztt完成签到，获得积分10

7秒前; ddd发布了新的文献求助10

8秒前; 714764964发布了新的文献求助10

8秒前; JJHu发布了新的文献求助30

8秒前; 小唐发布了新的文献求助10

8秒前; 迷路的游侠完成签到，获得积分10

8秒前; 屈绮兰的应助被Alex采纳，获得30

8秒前; 大个上传了应助文件

9秒前; 缥缈的初阳完成签到，获得积分10

9秒前; cara的应助被张泽辉采纳，获得10

9秒前; 香蕉觅云上传了应助文件

10秒前; masterchen发布了新的文献求助20

11秒前; 刘小孩发布了新的文献求助10

11秒前; 卡皮巴拉yuan完成签到，获得积分10

11秒前; CAOHOU的应助被张一亦可采纳，获得10

12秒前; 研友_Z600mL发布了新的文献求助10

13秒前; 111发布了新的文献求助10

13秒前; Sucht完成签到，获得积分10

13秒前; 卡皮巴拉yuan发布了新的文献求助10

14秒前; NexusExplorer的应助被fdsfd采纳，获得10

15秒前; www完成签到，获得积分10

16秒前; univ关闭了univ的文献求助

16秒前; heiheihei完成签到，获得积分10

16秒前; limin完成签到，获得积分10

16秒前; Rick发布了新的文献求助10

16秒前; Orange上传了应助文件

17秒前