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 Tuning the Dimension of Ge Confined Cavity on Dielectric Layer through Controlled Exposure of Si Ring 通过控制Si环曝光调节介质层上Ge约束腔的尺寸
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期刊：Crystal Growth & Design 作者：Yiwen Zhang; Changxu Miao; Jiacheng Hu; Yihan Lei; Fangyuan Zheng; et al 出版日期：2024-11-23 |
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