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![]() 高温SiC谐振式铝液密度传感器
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DOI |
10.1109/JMEMS.2021.3064567
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作者:MIT材料科学与工程团队 期刊:Journal of Microelectromechanical Systems (2021) DOI: 10.1109/JMEMS.2021.3064567 内容:基于碳化硅(SiC)MEMS谐振器的熔融铝密度测量,耐受温度达700℃。 |
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