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标题
Atomic-scale study on particle movement mechanism during silicon substrate cleaning using ReaxFF MD
使用ReaxFF MD进行硅基片清洁过程中颗粒运动机制的原子级研究
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网址
https://doi.org/10.1016/j.commatsci.2022.111751
DOI
10.1016/j.commatsci.2022.111751 doi
其它 期刊：Computational Materials Science
作者：Qinyang Zeng; Changkun Li; Dewen Zhao; Xinchun Lu
出版日期：2022-09-01
求助人
就这样吧 在 2025-08-30 00:16:26 发布，悬赏 10 积分
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