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Atomic-scale study on particle movement mechanism during silicon substrate cleaning using ReaxFF MD

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作者

Qinyang Zeng,Changkun Li,Dewen Zhao,Xinchun Lu

出处

期刊：Computational Materials Science [Elsevier BV]
日期：2022-09-01 卷期号：214: 111751-111751 被引量：6

标识

DOI：10.1016/j.commatsci.2022.111751

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