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 LaB6 virtual source mode electron guns for advancing brightness and resolution in electron beam inspection 相关领域
光学
亮度
模式（计算机接口）
物理
阴极射线
分辨率（逻辑）
电子
梁（结构）
材料科学
图像分辨率
高分辨率
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| DOI |
10.1117/12.3090117
doi
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期刊： 作者： 出版日期： |
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(2025-6-4)
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