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Influence of growth parameters and systematical analysis on 8-inch piezoelectric AlN thin films by magnetron sputtering 相关领域
材料科学
半最大全宽
溅射沉积
薄膜
压电
基质(水族馆)
溅射
粒度
残余应力
复合材料
压力(语言学)
晶粒生长
光电子学
纳米技术
海洋学
语言学
哲学
地质学
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Shaocheng Wu; Rongbin Xu; Bingliang Guo; Yinggong Ma; Daquan Yu 出版日期:2023-10-20 |
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