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A comparison study of mechanical change and chemical disorder in 4H-SiC irradiated with Si5+ and He2+ at room temperature
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DOI
10.1016/j.nimb.2021.11.024 doi
其它 期刊:Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
作者:Xiaoxun He; Limin Chen; Junhan Li; Dingping Peng; Tongmin Zhang; et al
出版日期:2022
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