Effect of water vapor on plasma processing at atmospheric pressure: Polymer etching and surface modification by an Ar/H2O plasma jet

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标题	Effect of water vapor on plasma processing at atmospheric pressure: Polymer etching and surface modification by an Ar/H2O plasma jet
网址	http://avs.scitation.org/doi/am-pdf/10.1116/1.5092272
DOI	10.1116/1.5092272 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Pingshan Luan; V. S. Santosh K. Kondeti; Andrew J. Knoll; Peter J. Bruggeman; Gottlieb S. Oehrlein 出版日期：2019-04-22
求助人	醉熏的井在 2026-03-15 18:24:18 发布自广东，悬赏 10 积分
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