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Effect of growth pressure on sulfur content of RF-magnetron sputtered WS2 films and thermal oxidation properties of them toward using Pd decorated WO3 based H2 gas sensor
生长压力对射频磁控溅射WS2薄膜硫含量及热氧化性能的影响
相关领域
腔磁控管
硫黄
材料科学
溅射沉积
热的
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期刊:Sensors and Actuators B-chemical 作者:Soheil Mobtakeri; Saman Habashyani; Omer Coban; Hasan Feyzi Budak; Ahmet Emre Kasapoğlu; et al 出版日期:2023-04-01 |
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