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 Atomic Layer Deposition of LiF and Lithium Ion Conducting (AlF3)(LiF)x Alloys Using Trimethylaluminum, Lithium Hexamethyldisilazide and Hydrogen Fluoride 三甲基铝、六甲基二硅叠氮锂和氟化氢原子层沉积LiF和锂离子导电（AlF3）（LiF）x合金
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期刊：ChemRxiv 作者：Younghee Lee; Daniela Molina Piper; Andrew S. Cavanagh; Young Mj; Se-Hee Lee; et al 出版日期：2017-10-03 |
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