| 标题 |
 Dry etching-assisted femtosecond laser fabrication of silicon-based microlens arrays 相关领域
微透镜
飞秒
材料科学
制作
激光器
表面粗糙度
光学
光电子学
表面光洁度
蚀刻（微加工）
干法蚀刻
微观结构
材料加工
复合数
曲面（拓扑）
各向同性腐蚀
脉搏（音乐）
光学材料
纵横比（航空）
纳米技术
精密工程
表征（材料科学）
工作（物理）
激光束
过程（计算）
轮廓仪
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| 网址 | |
| DOI |
10.1117/12.3093523
doi
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| 其它 |
期刊：8th Optics Young Scientist Summit (OYSS 2025) 作者：Bohan Li; Haijuan Cheng; Guanghua Wang; Yonghua Yang; Fan Fan; et al 出版日期：2025-11-07 |
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