Highly Sensitive Graphene MEMS Pressure Sensor with Integrated Membrane and Cross-Beam with Cavity for Extended Pressure Range Testing

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标题	Highly Sensitive Graphene MEMS Pressure Sensor with Integrated Membrane and Cross-Beam with Cavity for Extended Pressure Range Testing
网址	https://doi.org/10.1021/acsaelm.5c00228
DOI	10.1021/acsaelm.5c00228 doi
其它	期刊：ACS applied electronic materials 作者：Haiyang Li; Yipeng Wang; Yonghong Cao; Mengwei Li; Shengsheng Wei; et al 出版日期：2025-04-18
求助人	53125 在 2026-07-15 23:08:52 发布自北京，悬赏 10 积分
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