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Nucleation and growth mechanism for atomic layer deposition of Al2O3 on two-dimensional WS2 monolayer
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网址
DOI
10.1116/6.0001913 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者:Tsu-Ting Lee; Kashi Chiranjeevulu; Pedaballi Sireesha; Daire Cott; Annelies Delabie; et al
出版日期:2022-11-29
求助人
DaisyChan 在 2026-01-12 07:05:12 发布自贵州,悬赏 10 积分
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