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标题
200-mm Si CMOS Process-Compatible Integrated Passive Device Stack for Millimeter-Wave Monolithic 3-D Integration
用于毫米波单片三维集成的200-mm Si CMOS工艺兼容集成无源器件堆叠
相关领域
堆栈（抽象数据类型） 材料科学 共面波导 光电子学 薄脆饼 化学机械平面化 极高频率 CMOS芯片 图层（电子） 钝化 化学气相沉积 插入损耗 单片微波集成电路 高电子迁移率晶体管 微波食品加热 晶体管 电子工程 电气工程 工程类 纳米技术 电信 计算机科学 放大器 电压 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1109/ted.2023.3302817
DOI
10.1109/ted.2023.3302817 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
作者：Minsik Park; J. H. Song; Jaeyong Jeong; Jeong‐Taek Lim; Jae‐Hyeok Song; et al
出版日期：2023-08-15
求助人
zhangxp 在 2025-12-10 19:47:49 发布自河南，悬赏 10 积分
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