Squeeze Film Damping Effect of the Micro Airflow in a MEMS Sealed Chamber

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标题	Squeeze Film Damping Effect of the Micro Airflow in a MEMS Sealed Chamber 相关领域气流材料科学机械执行机构声学结构工程机械工程工程类电气工程物理
网址	https://en.cnki.com.cn/Article_en/CJFDTOTAL-CGJS200811006.ht...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	期刊：Chuangan jishu xuebao 作者：Ren Jian-xing 出版日期：2008-01-01
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