Effects of Hydrogen Implantation on SOI Wafers: Role of Ion Dose and Annealing

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标题	Effects of Hydrogen Implantation on SOI Wafers: Role of Ion Dose and Annealing 氢注入对SOI晶片的影响：离子剂量和退火的作用
网址	http://dx.doi.org/10.1063/1.4741495
DOI	10.1063/1.4741495 doi
求助人	光亮的棒棒糖在 2025-01-18 23:38:39 发布自江苏，悬赏 20 积分
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