Study on nanometer cutting mechanism of single crystal silicon at different temperatures - 科研通

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标题	Study on nanometer cutting mechanism of single crystal silicon at different temperatures
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2023.03.026
DOI	10.1016/j.jmapro.2023.03.026 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Guigen Ye; Peng Zhang; Jiansheng Zhang; Yi Zhang; Xiaoguang Huang 出版日期：2023-03-27
求助人	璐瑶在 2026-10-09 16:58:04 发布自天津，悬赏 10 积分
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