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 Effect of porosity on etching rate and crater-like microstructure of sintered Al2O3, Y2O3, and YAG ceramics in plasma etching 等离子体刻蚀中孔隙率对Al2O3、Y2O3和YAG烧结陶瓷刻蚀速率和坑状组织的影响
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期刊：Ceramics International 作者：Eun‐Bi Kim; Cheng‐Cai Zhao; Young‐Jo Park; Mi‐Ju Kim; Ho Jin; et al 出版日期：2024-02-02 |
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