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Suppression of segregation of the phosphorus δ-doping layer in germanium by incorporation of carbon 掺入碳抑制锗中磷δ掺杂层的偏析
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期刊:Japanese Journal of Applied Physics 作者:M. Yamada; Kentarou Sawano; Masashi Uematsu; Yasuo Shimizu; Koji Inoue; et al 出版日期:2016-02-04 |
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