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Suppression of segregation of the phosphorus δ-doping layer in germanium by incorporation of carbon
掺入碳抑制锗中磷δ掺杂层的偏析
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网址
DOI
10.7567/jjap.55.031304 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:M. Yamada; Kentarou Sawano; Masashi Uematsu; Yasuo Shimizu; Koji Inoue; et al
出版日期:2016-02-04
求助人
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