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 Crystallinity of Electrically Scaled Atomic Layer Deposited HfO2from a Cyclical Deposition and Annealing Scheme 循环沉积和退火方案沉积HfO2的电缩放原子层的结晶度
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Steven Consiglio; Robert D. Clark; Eric Bersch; J. D. LaRose; Ilyssa Wells; et al 出版日期：2012-01-01 |
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