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 Two-dimensional encoder with independent in-plane and out-of-plane detection for nanometric measurement 用于纳米测量的具有独立面内和面外检测的二维编码器
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期刊：Optics Letters 作者：Ping Wu; Zhiyong Yang; Xianying Wang; Zhigang Zhang 出版日期：2020-06-17 |
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