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标题
Trends in photoresist materials for extreme ultraviolet lithography: A review
极紫外光刻用光刻胶材料的发展趋势
相关领域
极紫外光刻 抵抗 光刻胶 极端紫外线 平版印刷术 材料科学 纳米技术 光刻 微电子 亮度 下一代光刻 多重图案 十字线 光学 光电子学 电子束光刻 薄脆饼 激光器 物理 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.mattod.2023.05.027
DOI
10.1016/j.mattod.2023.05.027 doi
其它 期刊：Materials Today
作者：Xiaolin Wang; Peipei Tao; Qianqian Wang; Rongbo Zhao; Tianqi Liu; et al
出版日期：2023-06-17
求助人
9579 在 2025-04-21 01:17:09 发布自比利时，悬赏 10 积分
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