Reactive pulsed laser deposition of low particulate density and epitaxial TiN films on Si (100) for functional oxide integration - 科研通

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标题	Reactive pulsed laser deposition of low particulate density and epitaxial TiN films on Si (100) for functional oxide integration 用于功能氧化物集成的Si（100）上低颗粒密度外延TiN薄膜的反应脉冲激光沉积相关领域锡材料科学脉冲激光沉积外延氧化锡通量表面粗糙度沉积（地质）表面光洁度薄膜分析化学（期刊）氧化物激光器图层（电子）纳米技术冶金光学化学复合材料物理古生物学生物色谱法沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2022.139456
DOI	10.1016/j.tsf.2022.139456 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Sandeep Vura; Rajeev Kumar; Pavan Nukala; Srinivasan Raghavan 出版日期：2022-08-23
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