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标题
Al0.7Sc0.3N butterfly-shaped laterally vibrating resonator with a figure-of-merit (kt2·Qm) over 146
品质因数（kt2·Qm）大于146的Al0.7Sc 0.3 N蝶形横向振动谐振器
相关领域
功勋 谐振器 插入损耗 光电子学 材料科学 Q系数
网址
https://doi.org/10.1063/5.0090226
DOI
10.1063/5.0090226 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Zhifang Luo; Shuai Shao; Kangfu Liu; Yuan Lu; Andrea Mazzalai; et al
出版日期：2022-04-25
求助人
甘草竹叶清 在 2025-06-01 05:17:40 发布，悬赏 10 积分
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