Titanium Nitride Grown by Sputtering for Contacts on Boron-Doped Diamond

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标题	Titanium Nitride Grown by Sputtering for Contacts on Boron-Doped Diamond 硼掺杂金刚石接触用溅射生长氮化钛相关领域材料科学欧姆接触锡氮化钛钻石氮化硼溅射退火（玻璃）钛化学气相沉积兴奋剂溅射沉积光电子学冶金氮化物薄膜复合材料纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1002/ppap.200730506
DOI	10.1002/ppap.200730506 doi
其它	期刊：Plasma Processes and Polymers 作者：V. Mortet; O. Elmazria; Wim Deferme; Michaël Daenen; Jan D’Haen; et al 出版日期：2007-04-01
求助人	llll 在 2025-06-02 14:13:21 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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