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 Fabricating 3D Si nanostructure via a novel Ga+ implantation enabled maskless dry etching process 一种新型Ga+注入无掩模干法刻蚀工艺制备三维Si纳米结构
相关领域
材料科学
纳米结构
干法蚀刻
纳米技术
蚀刻（微加工）
制作
基质（水族馆）
光电子学
半导体
硅
图层（电子）
微电子
病理
替代医学
地质学
海洋学
医学
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