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 From cathode to substrate: Plasma diagnostics on high power pulsed magnetron sputtering deposition of titanium nitride 从阴极到衬底：高功率脉冲磁控溅射氮化钛沉积的等离子体诊断
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期刊：Thin Solid Films 作者：Kirsten Bobzin; C. Kalscheuer; M. Carlet; Christian Schulze 出版日期：2022-06-06 |
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(2025-6-4)
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