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Effect of power density on compositional and structural evolution of ITO thin film by HiPIMS method
HiPIMS法研究功率密度对ITO薄膜成分和结构演化的影响
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
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期刊:Vacuum 作者:Ming-Jie Zhao; Jin-Fa Zhang; Jie Huang; Qi-Hui Huang; Wan-Yu Wu; et al 出版日期:2022-06-01 |
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