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 Sezawa mode SAW pressure sensors based on ZnO/Si structure 基于ZnO/Si结构的Sezawa模声表面波压力传感器
相关领域
材料科学
声表面波
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期刊：IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics and frequency control/IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control 作者：Abdelkrim Talbi; F. Sarry; L. Le Brizoual; O. Elmazria; P. Alnot 出版日期：2004-11-01 |
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